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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：39

题名/责任者:
微加工导论/(芬)弗兰西拉(Sami Franssila)著 陈迪等译
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2006.1
ISBN及定价:
7-121-01981-7/CNY65.00
载体形态项:
20,444页;26cm
并列正题名:
Introduction to Microfabrication
丛编项:
国外电子与通信教材系列
个人责任者:
(芬) 弗兰西拉 S. 著
个人责任者:
(芬) Franssila Sami 著
个人次要责任者:
陈迪 译
个人次要责任者:
刘景全 译
个人次要责任者:
朱军 译
学科主题:
特种加工-教材
中图法分类号:
TG66
版本附注:
本书中文简体字翻译版由Wiley Publishing, Inc授权出版
提要文摘附注:
本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TG66/581 70881830   密集书库126（2F咨询台委托借阅） M0015883     可借 密集书库126（2F咨询台委托借阅）
TG66/581 70881828   样本书阅览室（密集书库136）     非可借
TG66/581 70881829   自然科学第二书库（7F）     可借 自然科学第二书库（7F）
TG66/581 70881831   自然科学第二书库（7F）     可借 自然科学第二书库（7F）
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