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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微电子工艺原理与技术/田丽 ... [等] 主编

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-5603-9067-3/CNY78.00

载体形态项:

438页:图;26cm

并列正题名:

Microelectronics processing principle and technology

个人责任者:

田丽 (女) 主编

个人责任者:

王蔚 (女) 主编

个人责任者:

刘红梅 (女) 主编

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

一般附注:

“双一流”建设精品出版工程

题名责任附注:

主编还有: 王蔚, 刘红梅, 任明远

书目附注:

有书目 (第412-414页)

提要文摘附注:

本书分5篇，介绍了硅基芯片制造流程中普遍采用的各单项工艺技术的原理、问题、分析方法、主要设备及其技术发展趋势。第1篇硅衬底，主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制及硅片(包含体硅片和外延硅片)的制造工艺及相关理论。第2-5篇介绍硅芯片制造基本单项工艺(氧化与掺杂、薄膜制备、光刻技术、工艺集成与封装测试)的原理、方法、设备，以及所依托的技术基础及发展趋势。

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