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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:38

题名/责任者:
极限制造/高治军,许可著
出版发行项:
徐州:中国矿业大学出版社有限责任公司,2018
ISBN及定价:
978-7-5646-3950-1/CNY28.00
载体形态项:
127页:图;23cm
个人责任者:
高治军 (1978-) 著
个人责任者:
许可 (1978-) 著
学科主题:
纳米材料-电子器件-生产工艺
中图法分类号:
TN605
一般附注:
学术前沿研究
提要文摘附注:
本书以典型纳米器件——单壁碳纳米管场效应晶体管装配制造为范例,面向纳米器件规模化制造,针对SWCNT FET规模化制造市场需求,系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法,设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术,实验结果验证了研究方法的有效性和可行性,为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN605/033 72306649   自然书库(3F东)     可借 自然书库(3F东)
TN605/033 72306650   自然书库(3F东)     可借 自然书库(3F东)
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