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Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

Design, fabrication and CAD for MEMS devices/郭占社

出版发行项:

北京:北京航空航天大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-5124-2109-7/CNY65.00

载体形态项:

272页:图;23cm

并列正题名:

微机电器件设计、制造及计算机辅助设计

丛编项:

北京航空航天大学“研究生英文教材”系列丛书

个人责任者:

郭占社 编著

学科主题:

微电子技术-研究生-英文

中图法分类号:

TN4

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书内容包括静态与模态分析、电容分析、热结构分析、疲劳分析等。首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后，介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。

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