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题名/责任者:

微机电系统基础/(美) 盖德主编 赵永梅, 段瑞飞, 季安译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-111-55733-3 精装/CNY169.00

载体形态项:

xiii, 394页:图;27cm

统一题名:

Mems introduction and fundamentals

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

盖德 (Gad-Hak, Mohamed) 主编

个人次要责任者:

赵永梅 译

个人次要责任者:

段瑞飞 译

个人次要责任者:

季安 译

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

版本附注:

据原书第2版译出

出版发行附注:

中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版并限在中国大陆地区销售

相关题名附注:

英文并列题名取自版权页

责任者附注:

盖德 (Mohamed Gad-Hak)，男，目前是位于里士满的弗吉尼亚联邦大学生物医学工程系的伊内兹考迪尔教授和机械工程系的首席教授。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。

使用对象附注:

本书可供MEMS技术人员和设计人员使用，也可供MEMS专业的高年级本科生和研究生参考。

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