MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：71
- 题名/责任者:
- 微机电系统应用/(美)Mohamed Gad-el-Hak编 张海霞，赵小林，金玉丰等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-111-26733-1 精装/CNY108.00
- 载体形态项:
- 10,467页:图;27cm
- 并列正题名:
- MEMS applications
- 丛编项:
- 国际制造业先进技术译丛
- 个人责任者:
- (美) Gad-el-Hak Mohamed 编
- 个人次要责任者:
- 张海霞 译
- 个人次要责任者:
- 赵小林 译
- 个人次要责任者:
- 金玉丰 译
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 版本附注:
- 据《微机电系统手册》原书第2版译出
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/180 | 71484145 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 总借还书处（2F） |
| TN4/180 | 71484146 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/180 | 71484147 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | |
| TN4/180 | 71484148 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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