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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:29

题名/责任者:
聚焦离子束:应用与实践/邓昱[等]著
出版发行项:
南京:南京大学出版社,2023
ISBN及定价:
978-7-305-27409-1/CNY68.00
载体形态项:
193页:图,照片;23cm
个人责任者:
邓昱
学科主题:
离子束聚变装置
中图法分类号:
TL632
题名责任附注:
著者还有:魏大庆、王英、陈振
责任者附注:
邓昱,南京大学亚原子电镜中心主任、现代工程与应用科学学院博士生导师,中国分析测试协会青年委员会副主任委员,江苏省电镜学会副主任委员。
提要文摘附注:
本书共分七章,从聚焦离子束的结构原理出发,结合应用与实践,对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述,并配有实际案例进行进一步详解。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TL632/760 72552516   杭电记忆书吧(自动化)     非可借 杭电记忆书吧(自动化)
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