MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：52
- 题名/责任者:
- 微电子机械系统/姜岩峰编著
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2006.3
- ISBN及定价:
- 7-5025-8158-8/CNY28.00
- 载体形态项:
- 194页:图表;26cm
- 个人责任者:
- 姜岩峰 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-电子机械-机械系统
- 学科主题:
- 微电子技术
- 学科主题:
- 电子机械
- 学科主题:
- 机械系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 书目附注:
- 本书附有书目
- 提要文摘附注:
- 书介绍了与微电子机械系统相关的基础知识、主要工艺和器件结构等内容，并对该领域的热点问题作了探讨，主要包括五部分内容。全书首先介绍了MEMS相关力学测量方法，接着介绍了MEMS中的主要工艺，传感器的原理、结构和实现方法，并对MEMS的器件的使用方法进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方向的内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH-39/8221 | 70941790 |  临安密4(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密4(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 70941791 | 临安密4(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密4(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 60039590 | 临安密3(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密3(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 60039591 | 临安密3(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密3(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 60039592 | 临安密3(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密3(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 60039593 | 临安密3(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密3(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/8221 | 60039594 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) | |
| TH-39/8221 | 60039595 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) | |
| TH-39/8221 | 70941792 | 文一密集（批次2）（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/8221 | 70941796 | 文一密集（批次2）（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/8221 | 70941797 | 文一密集（批次2）（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/8221 | 70941793 | 密集书库124（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/8221 | 70941795 | 密集书库124（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/8221 | 70941789 | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） | |
| TH-39/8221 | 70941794 | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） | |
| TH-39/8221 | 70941788 | 样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 |
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