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题名/责任者:

微电子机械微波通讯信号检测集成系统/廖小平 ... [等] 著

出版发行项:

北京:科学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-03-051330-4 精装/CNY128.00

载体形态项:

xi, 294页:图;25cm

丛编项:

半导体科学与技术丛书;35

个人责任者:

廖小平 著

学科主题:

微电子元件-信号检测

中图法分类号:

TN4

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分为12章，从第1章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器；第3章的间接加热热电式功率传感器；第4章的直接加热热电式功率传感器；第5章的电容式功率传感器；第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统；第7章的在线电容耦合式微波功率检测器；第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器；第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器；第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究。最后第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术。

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