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题名/责任者:

MEMS惯性传感器技术/张志英编著

出版发行项:

西安:西安交通大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-5605-7265-9 精装/CNY80.00

载体形态项:

[18], 263页:图;25cm

并列正题名:

MEMS inertial sensor technology

个人责任者:

张志英, 1942- 编著

学科主题:

微电子技术-惯性传感器-研究

中图法分类号:

TP212.4

提要文摘附注:

本书从MEMS惯性传感器的基本概念出发，介绍了MEMS惯性传感器的术语、分类、功能及作用原理；简述了MEMS惯性传感器的敏感极性和参数计算及其调整；给出了企业制造MEMS角速率陀螺的两个企业标准；介绍了一单轴较大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工艺；介绍了MEMS惯性传感器的测试项目、测试方法及环境试验；也从性能参数出发阐述了MEMS惯性传感器的选择原则，并介绍了国内外可供选择的MEMS惯性传感器产品及其他像光纤陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等惯性传感器产品；特列了33个作者牵头自行研制的不同量程型号的MEMS硅角速率陀螺使用说明书及其注释和国内外22个MEMS石英角速率陀螺技术条件及其注释；又从MEMS惯性传感器的应用角度讲述了MEMS惯性传感器应用的技术领域、MEMS角速率陀螺的应用特点和MEMS惯性传感器的安装要求；还对十余年来MEMS惯性传感器在各技术领域中典型的应用实例进行了一些解析；最后，介绍了MEMS惯性传感器的测试仪器和设备。

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