MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：48
- 题名/责任者:
- 微电子机械加工系统(MEMS)技术基础/孙以材, 庞冬青编著
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-5024-4794-6/CNY26.00
- 载体形态项:
- 194页:图;20cm
- 个人责任者:
- 孙以材 编著
- 个人责任者:
- 庞冬青 编著
- 学科主题:
- 微电子元件-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN405
- 提要文摘附注:
- 本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN405/124 | 71437092 | - |  自然书库（3F东）
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可借 | 总借还书处（2F） |
| TN405/124 | 71437093 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN405/124 | 71437094 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN405/124 | 71437095 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN405/124 | 71437096 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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