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题名/责任者:

射频微机电系统的理论、设计、制备及应用/张海霞，缪旻，方东明著

出版发行项:

北京:科学出版社,2014.01

ISBN及定价:

978-7-03-038996-1 精装/CNY135.00

载体形态项:

10,416页:图;25cm

丛编项:

微纳制造的基础研究学术著作丛书

个人责任者:

张海霞 著

个人责任者:

缪旻 著

个人责任者:

方东明 著

学科主题:

微电子技术-射频系统-研究

中图法分类号:

TN4

一般附注:

中国科学院科学出版基金资助出版

提要文摘附注:

本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。

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