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题名/责任者:

纳米加工技术与原理:techniques and principles/(加) Maria Stepanova, Steven Dew编 段辉高 ... [等] 译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-118-12322-7 精装/CNY119.00

载体形态项:

xii, 318页, 10页图版:图 (部分彩图);25cm

统一题名:

Nanofabrication : techniques and principles

个人责任者:

斯捷潘诺娃 (Stepanova, Maria) 编

个人责任者:

德夫 (Dew, Steven) 编

个人次要责任者:

段辉高 译

个人次要责任者:

陈艺勤 译

学科主题:

纳米材料-加工

中图法分类号:

TB383

一般附注:

装备科技译著出版基金

题名责任附注:

题名页题: 段辉高, 陈艺勤, 胡跃强, 李平译

出版发行附注:

本书简体中文版由Springer授权国防工业出版社独家出版

责任者附注:

责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书为电子、材料以及物理等领域的科学家和工程师更新纳米结构加工的最新核心技术。主要内容包括亚25nm图形的光刻技术, 纳米尺度精度的沉积技术, 纳米尺度的图形刻蚀技术等。本书的亮点不是为了延展微电子制造工艺, 而是更多聚焦于可在纳机电系统、生物传感器、纳米材料、光子晶体以及其它新型器件结构等革命性技术领域应用的图形加工技术。

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