杭州电子科技大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

MEMS可靠性/(日)O. Tabata，T. Tsuchiya著 宋竞[等]译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-5641-1575-3/CNY50.00

载体形态项:

247页:图;24cm

并列正题名:

Reliability of MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

(日) 田畑 (Tabata, O.) 著

个人责任者:

(日) 土屋 (Tsuchiya, T.) 著

个人次要责任者:

宋竞 译

学科主题:

微电子技术-可靠性

中图法分类号:

TN4

题名责任附注:

译者还有：尚金堂、唐洁影、黄庆安。

版本附注:

本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权出版

责任者附注:

责任者Tabata规范汉译姓：田畑；责任者Tsuchiya规范汉译姓：土屋

提要文摘附注:

本书是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。

豆瓣简介：