MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：60
- 题名/责任者:
- 微机电系统 (MEMS) 制造技术/苑伟政, 乔大勇著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-03-039974-8 精装/CNY88.00
- 载体形态项:
- 240页:图;25cm
- 并列正题名:
- Micro nano manufacturing
- 丛编项:
- 微纳制造的基础研究学术著作丛书
- 个人责任者:
- 苑伟政 著
- 个人责任者:
- 乔大勇 著
- 学科主题:
- 微电机-生产工艺
- 中图法分类号:
- TM380.5
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 相关题名附注:
- 英文题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势 ; MEMS制造的材料基础 ; MEMS制造中的沾污及洁净技术等内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM380.5/421 | 71940311 |  自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
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