MARC状态:订购 文献类型:中文图书 浏览次数:18
- 题名/责任者:
- 低温等离子体诊断原理与技术/叶超编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2021.6
- ISBN及定价:
- 978-7-03-055475-8 精装/CNY169.00
- 载体形态项:
- 340页:图;25cm
- 丛编项:
- 等离子体物理丛书
- 个人责任者:
- 叶超 编著
- 学科主题:
- 低温-等离子体诊断
- 中图法分类号:
- O536
- 一般附注:
- “十三五”江苏省高等学校重点教材 (2020-2-029)
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程, 到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用, 较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识, 总结了该领域近年来的一些新进展, 提供了低温等离子体诊断应用的实例。
- 使用对象附注:
- 本书可供从事低温等离子体物理、薄膜物理、微电子材料与器件、材料科学与工程、等离子体化学等应用研究的相关科研和工程技术人员参考, 以及在上述专业的研究生或高年级本科生的课程中使用。本书亦可作为从事等离子体其他领域工作的科研和教学参考书
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