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题名/责任者:

NEMS传感器的研制与应用/谭苗苗著

出版发行项:

北京:冶金工业出版社,2017

ISBN及定价:

978-7-5024-7442-3/CNY28.00

载体形态项:

109页:图;24cm

并列正题名:

Preparation of NEMS sensor and its application

个人责任者:

谭苗苗 著

学科主题:

机电系统-传感器-研究

中图法分类号:

TM7

责任者附注:

谭苗苗, 工学博士, 北京联合大学机械工程及自动化系副主任。

书目附注:

有书目 (第103-109页)

提要文摘附注:

本书概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案, 并针对国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析 ; 针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构, 详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法, 以及器件电路结构加工工艺等。

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