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题名/责任者:

微电子制造技术实验教程/王姝娅 ... [等] 编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-03-044494-3/CNY29.00

载体形态项:

152页:图;24cm

丛编项:

微电子专业实验教材系列丛书

个人责任者:

王姝娅 编著

个人责任者:

戴丽萍 编著

个人责任者:

钟志亲 编著

学科主题:

微电子技术-实验-教材

中图法分类号:

TN4-33

一般附注:

“电子信息材料与器件国家级实验教学示范中心”系列规划教材 教育部“卓越工程师教育培养计划”系列教材

题名责任附注:

题名页题: 王姝娅, 戴丽萍, 钟志亲, 王刚, 杜江锋编著

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本教材是面向微电子及相关专业的实验教程，以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验方法和步骤。第3章介绍微电子器件制造过程中的物理性能测试实验和电学性能测试实验。第4章介绍二极管、肖特基二极管、三极管、CMOS管、集成电阻器等器件的制造以及集成运算放大器的参数测试、逻辑IC功能和参数的测试两个综合实验。

使用对象附注:

可作为高等院校微电子及相关专业的实验教材，也可作为教师和一般微电子制造工程技术人员的参考资料。

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