MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:66
- 题名/责任者:
- MEMS集成设计技术及应用/苑伟政, 谢建兵, 焦文龙著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2014.11
- ISBN及定价:
- 978-7-118-09583-8/CNY99.00
- 载体形态项:
- xviii, 294页, 16页图版:图 (部分彩图);24cm
- 丛编项:
- 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
- 个人责任者:
- 苑伟政 著
- 个人责任者:
- 谢建兵 著
- 个人责任者:
- 焦文龙 著
- 学科主题:
- 微电子技术-研究
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上,对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术,进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍,并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后,通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN4/421.3 | 72006958 | - | ![]() |
可借 | 现代技术部(1F) |
TN4/421.3 | 72006959 | - | ![]() |
可借 | 现代技术部(1F) |
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