MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：38
- 题名/责任者:
- 微光学和纳米光学制造技术/(美) Shanalyn A. Kemme编著 周海宪, 程云芳译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-111-39448-8/CNY66.00
- 载体形态项:
- XII, 196页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际信息工程先进技术译丛
- 个人责任者:
- 凯米 (Kemme, Shanalyn A.) 编著
- 个人次要责任者:
- 周海宪 译
- 个人次要责任者:
- 程云芳 译
- 学科主题:
- 微光技术-光学元件-制造
- 学科主题:
- 纳米材料-光学元件-制造
- 中图法分类号:
- TH74
- 相关题名附注:
- 英文题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维 (3D) 光子晶体的制造 —— 钨成型法。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH74/290 | 71836332 | - |  中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） |
| TH74/290 | 71836333 | - | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） |
| TH74/290 | 71836334 | - | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） |
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