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MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：47

题名/责任者:
CMOS-MEMS / volume editors: O. Brand and G.K. Fedder.
出版发行项:
Weinheim ; [Great Britain] : Wiley-VCH, c2005.
ISBN:
3-527-31080-0(cloth)
载体形态项:
xiv, 594 p. : ill. ; 25 cm.
丛编题名:
Advanced micro & nanosystems ; v. 2.
附加个人名称:
Brand, Oliver, 1964-.
附加个人名称:
Fedder, G. K. (Gary K.).
丛编团体名称:
20060525
论题主题:
Microelectromechanical systems.
论题主题:
Metal oxide semiconductors, Complementary.
中图法分类号:
TN432
书目附注:
Includes bibliographical references and index.
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TN432/B2 40036026   外文书库(外文原版)（11F）     可借
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