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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:68

题名/责任者:
半导体材料测试与分析/杨德仁等著
出版发行项:
北京:科学出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-03-027036-8 精装/CNY78.00
载体形态项:
381页:图;25cm
丛编项:
半导体科学与技术丛书
个人责任者:
杨德仁
学科主题:
半导体材料-测试
中图法分类号:
TN304.07
一般附注:
中国科学院出版基金资助出版
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
半导体材料是微电子、光电子和太阳能等工业的基石,而其电学性能、光学性能和机械性能将会影响半导体器件的性能和质量,因此,半导体材料性能和结构的测试和分析,是半导体材料研究和开发的重要方面。本书主要介绍半导体材料的各种测试分析技术,涉及测试技术的基本原理、仪器结构、样品制备和应用实例等内容,包括四探针电阻率、无接触电阻率、扩展电阻、微波光电导衰减、霍尔效应、红外光谱、深能级瞬态谱、正电子湮没、荧光光谱、紫外-可见吸收光谱、电子束诱生电流、I-V和C-V等测试分析技术。
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TN304.07/422 71599287  - 样本书阅览室(密集书库136)     非可借
TN304.07/422 71599288  - 自然书库(3F东)     可借 总借还书处(2F)
TN304.07/422 71599289  - 自然书库(3F东)     可借 现代技术部(1F)
TN304.07/422 71599290  - 自然书库(3F东)     可借
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