MARC状态:审校 文献类型:西文图书 浏览次数:50
- 题名/责任者:
- Ceramic thick films for MEMS and microdevices / Robert A. Dorey.
- 出版发行项:
- Amsterdam ; Boston, MA : William Andrew ; Oxford : Elsevier Science [distributor], c2012.
- ISBN:
- 9781437778175 (hbk.)
- ISBN:
- 1437778178 (hbk.)
- 载体形态项:
- xviii, 191 p. : ill. ; 24 cm.
- 丛编统一题名:
- Micro & nano technologies.
- 个人责任者:
- Dorey, Robert A.
- 论题主题:
- Thick-film circuits-Design and construction.
- 论题主题:
- Microelectromechanical systems-Design and construction.
- 论题主题:
- Nanoelectronics.
- 中图法分类号:
- TH-39
- 书目附注:
- Includes bibliographical references (p. 183-185) and index.
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