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中文图书1.半导体晶片清洗:科学、技术与应用:science, technology, and applications TN304/460
馆藏复本:3
可借复本:3 (美) Werner Kern主编
电子工业出版社 2012
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西文图书2.Handbook of silicon wafer cleaning technology / 2nd ed. TN3/BR1
馆藏复本:1
可借复本:1 edited by Karen A. Reinhardt, Werner Kern.
William Andrew, c2008.
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