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中文图书1.微电子制造科学原理与工程技术.第2版 TN4/472.2
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) Stephen A. Campbell著
电子工业出版社 2023
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中文图书2.集成电路制造工艺技术体系 TN405/128
馆藏复本:2
可借复本:2 严利人, 周卫著
科学出版社 2017
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中文图书3.Fabrication engineering at the micro-and nanoscale TN4/472
馆藏复本:4
可借复本:4 (美) 斯蒂芬 A·坎贝尔著
电子工业出版社 2011
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中文图书4.微电子制造技术概论 TN4/128
馆藏复本:5
可借复本:5 严利人, 周卫, 刘道广编著
清华大学出版社 2010
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中文图书5.硅超大规模集成电路式工艺技术:Fundamentals, Practice and Modeling TN47/826.2/2
馆藏复本:3
可借复本:1 (美)James D.Plummer, Michael D.Deal, Peter B.Griffin著
电子工业出版社 2005.12
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