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  1. 中文图书1.微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH/236

    馆藏复本：2
    可借复本：2     (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
    机械工业出版社 2020
    (0) 馆藏

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