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中文图书1.集成微纳系统的前沿技术 TN4/131.2
馆藏复本:2
可借复本:2 张海霞, 张晓升, 杨卓青编著
北京大学出版社 2023
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中文图书2.射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 TN4/131
馆藏复本:1
可借复本:0 张海霞,缪旻,方东明著
科学出版社 2014.01
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中文图书3.微机电系统应用 TN4/180
馆藏复本:4
可借复本:4 (美)Mohamed Gad-el-Hak编
机械工业出版社 2009
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