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中文图书1.薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术 O536/740
馆藏复本：2
可借复本：2 陈吉堃著
科学出版社 2021
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中文图书2.低温等离子体的产生与等离子体工艺问题与前景 O53/360
馆藏复本：1
可借复本：1 (俄) В·М·福明, И·М·扎瑟普金编
中国宇航出版社 2019
(0) 馆藏
