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中文图书1.微电子工艺与装备技术 TN4/1303
馆藏复本：3
可借复本：3 夏洋, 解婧, 陈宝钦编著
科学出版社 2023
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中文图书2.Design, fabrication and CAD for MEMS devices TN4/023
馆藏复本：1
可借复本：1 郭占社
北京航空航天大学出版社 2016
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