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中文图书1.微机电系统（MEMS）设计和原型设计指南 TM380.2/020
馆藏复本：3
可借复本：3 (美) Joel A. Kubby著
国防工业出版社 2014
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中文图书2.微机电系统设计:建模、仿真与可视化 TM380.2/240
馆藏复本：5
可借复本：4 卢桂章, 赵新著
科学出版社 2010
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中文图书3.微特电机设计程序 TM380.2/232
馆藏复本：5
可借复本：0 上海微电机研究所 主编
上海科学技术出版社 1983.7
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