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中文图书1.微纳制造与微机电系统 TH/427
馆藏复本:3
可借复本:3 李经民,刘冲,王立鼎编著
科学出版社 2024
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中文图书2.MEMS/NEMS谐振器技术 TN629.1/106
馆藏复本:1
可借复本:1 张文明,胡开明著
科学出版社 2023
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中文图书3.新型微机电系统与器件 TH/738
馆藏复本:5
可借复本:5 主编马宗敏
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书4.高温SiC MEMS传感器的热电特性 TM54/143
馆藏复本:4
可借复本:4 (澳) 丁东安, 阮南中, 陶宗越著
科学出版社 2022
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中文图书5.微机电系统.第2版 TM380.5/421/2
馆藏复本:2
可借复本:2 苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著
西北工业大学出版社 2021
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中文图书6.硅基MEMS制造技术 TH/164
馆藏复本:5
可借复本:4 王跃林, 吴国强等编著
电子工业出版社 2022
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中文图书7.微机电系统 (MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH/236
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 维卡斯·乔社里, (加) 克日什托夫·印纽斯基著
机械工业出版社 2020
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中文图书8.MEMS系统级建模 TH-39/740
馆藏复本:3
可借复本:2 (德) 塔玛拉·贝克唐德, 加布里尔·施拉格, 冯丽红著
东南大学出版社 2020
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中文图书9.中国学科发展战略,微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/632
馆藏复本:2
可借复本:2 国家自然科学基金委员会, 中国科学院
科学出版社 2020
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中文图书10.基于MEMS技术的热梯度器件研究 TH-39/182
馆藏复本:2
可借复本:2 聂金泉著
中国水利水电出版社 2019
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中文图书11.硅MEMS工艺与设备基础 TM38-39/710
馆藏复本:2
可借复本:2 阮勇, 尤政编著
国防工业出版社 2018
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中文图书12.微纳机电系统力学 O442/044
馆藏复本:3
可借复本:3 高世桥 ... [等] 主编
北京理工大学出版社 2018
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中文图书13.三维电子封装的硅通孔技术 TN405/033
馆藏复本:1
可借复本:1 (美) 刘汉诚著
化学工业出版社 2014.7
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中文图书14.微机电系统基础:英文版.影印版 TM38/030
馆藏复本:3
可借复本:1 (美)Chang Liu著
机械工业出版社 2008
(1) 馆藏