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中文图书1.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用.第2版 TN405/133/2
馆藏复本:3
可借复本:3 张海洋等编著
清华大学出版社 2023
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中文图书2.衍射极限附近的光刻工艺 TN305.7/210
馆藏复本:1
可借复本:0 伍强等编著
清华大学出版社 2020
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中文图书3.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405/133
馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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