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• 010 __ |a 978-7-122-23883-2 |d CNY58.00

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• 200 1_ |a 微机电系统及工程应用 |A wei ji dian xi tong ji gong cheng ying yong |b 专著 |f 莫锦秋，梁庆华，王石刚编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2015

• 215 __ |a 191页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 现代机电一体化技术丛书 |A Xian Dai Ji Dian Yi Ti Hua Ji Shu Cong Shu

• 330 __ |a 本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。

• 461 _0 |1 2001 |a 现代机电一体化技术丛书

• 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 莫锦秋 |A mo jin qiu |4 编著

• 701 _0 |a 梁庆华 |A liang qing hua |4 编著

• 701 _0 |a 王石刚 |A wang shi gang |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20160318

• 905 __ |a HDUL |d TM38/482

• 920 __ |a 233030 |z 1