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• 200 1_ |a MOS集成电路工艺与制造技术 |A MOS ji cheng dian lu gong yi yu zhi zao ji shu |f 潘桂忠编著

• 210 __ |a 上海 |c 上海科学技术出版社 |d 2012

• 215 __ |a 489页 |d 26cm

• 330 __ |a 本书介绍了硅集成电路制造技术中的基础工艺，内容包括硅衬底与清洗、氧化、扩散、离子注人、外延、化学气相淀积、光刻与腐蚀/刻蚀、金属化与多层布线、表面钝化以及工艺集成制造技术等。

• 606 0_ |a MOS集成电路

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• 701 _0 |a 潘桂忠 |A pan gui zhong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20121029

• 856 4_ |u http://www.zxhsd.com/kgsm/ts/2012/06/03/2263749.shtml

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