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- 000 01294nam0 2200289 450
- 010 __ |a 978-7-03-067354-1 |b 精装 |d CNY248.00
- 100 __ |a 20210419d2021 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 光刻机像质检测技术 |A guang ke ji xiang zhi jian ce ji shu |h 上册 |f 王向朝, 戴凤钊等著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2021
- 215 __ |a xii, 529页 |c 图 (部分彩图) |d 27cm
- 304 __ |a 作者名单题: 王向朝, 李思坤, 段立峰, 施伟杰, 唐锋等6人
- 306 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版
- 330 __ |a 本书介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,介绍了作者团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。书中介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
- 606 0_ |a 光刻设备 |A guang ke she bei |x 影象质量 |x 质量检验
- 701 _0 |a 王向朝 |A wang xiang chao |4 著
- 701 _0 |a 戴凤钊 |A dai feng zhao |4 著
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20210607
- 905 __ |a HDUL |d TN305.7/124:V2