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• 200 1_ |a 电子束曝光微纳加工技术 |A dian zi shu pu guang wei na jia gong ji shu |f 顾文琪主编

• 210 __ |a 北京 |c 北京工业大学出版社 |d 2004.7

• 215 __ |a 310页 |c 图, 表格 |d 26cm

• 225 2_ |a 电子表、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |A dian zi biao li zi shu guang zi shu wei na jia gong ji shu xi lie zhuan zhu

• 320 __ |a 本书含参考文献

• 410 _0 |1 2001 |a 电子表、离子束、光子束微纳加工技术系列专著

• 606 0_ |a 电子束 |A dian zi shu |x 曝光 |x 研究

• 606 0_ |a 电子束 |A dian zi shu

• 606 0_ |a 曝光 |A pu guang

• 690 __ |a TL501 |v 4

• 701 _0 |a 顾文琪 |A gu wen qi |4 主编

• 801 _0 |a CN |b QSSKxf |c 20040816

• 905 __ |a HIEL |d TL501/701

• 999 __ |a 24 |b 3 |e 143