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• 200 1_ |a Design, fabrication and CAD for MEMS devices |A Design, Fabrication And Cad For Mems Devices |d 微机电器件设计、制造及计算机辅助设计 |f 郭占社 |z chi

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2016

• 215 __ |a 272页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 北京航空航天大学“研究生英文教材”系列丛书 |A bei jing hang kong hang tian da xue“yan jiu sheng ying wen jiao cai”xi lie cong shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容包括静态与模态分析、电容分析、热结构分析、疲劳分析等。首先介绍了MEMS的相关基本理论，微机电系统的重要材料和制造工艺。在这些理论的基础上，对设计规则和重要的工程实例都进行了详细描述。然后，结合MEMS(包括加速度测量)的许多工程应用介绍了角速度测量和压力测量。最后，介绍了利用有限元方法来证明设计的正确性。

• 410 _0 |1 2001 |a 北京航空航天大学“研究生英文教材”系列丛书

• 510 1_ |a 微机电器件设计、制造及计算机辅助设计 |z chi

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 研究生 |j 英文

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 郭占社 |A guo zhan she |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团公司 |c 20160718

• 905 __ |a HDUL |d TN4/023

• 920 __ |a 233030 |z 1