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• 005 20170517145800.0

• 010 __ |a 978-7-111-55733-3 |b 精装 |d CNY169.00

• 100 __ |a 20170331d2017 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微机电系统基础 |A wei ji dian xi tong ji chu |f (美) 盖德主编 |f Mohamed Gad-Hak |g 赵永梅, 段瑞飞, 季安译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2017

• 215 __ |a xiii, 394页 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A guo ji zhi zao ye xian jin ji shu yi cong

• 305 __ |a 据原书第2版译出

• 306 __ |a 中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版并限在中国大陆地区销售

• 312 __ |a 英文并列题名取自版权页

• 314 __ |a 盖德 (Mohamed Gad-Hak)，男，目前是位于里士满的弗吉尼亚联邦大学生物医学工程系的伊内兹考迪尔教授和机械工程系的首席教授。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。

• 333 __ |a 本书可供MEMS技术人员和设计人员使用，也可供MEMS专业的高年级本科生和研究生参考。

• 410 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 500 10 |a Mems introduction and fundamentals |A Mems Introduction And Fundamentals |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _1 |a 盖德 |A gai de |g (Gad-Hak, Mohamed) |4 主编

• 702 _0 |a 赵永梅 |A zhao yong mei |4 译

• 702 _0 |a 段瑞飞 |A duan rui fei |4 译

• 702 _0 |a 季安 |A ji an |4 译

• 801 _0 |a CN |b 北京新华书店首都发行所有限公司 |c 20170331

• 905 __ |a HDUL |d TM38/820.2

• 920 __ |a 233030 |z 1