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• 200 1_ |a 纳米压印技术 |A na mi ya yin ji shu |f 周伟民 ... [等] 编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2012

• 215 __ |a 255页 |c 图 |d 25cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术；此外，还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 应用 |x 微电子技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 周伟民 |A zhou wei min |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20121221

• 905 __ |a HDUL |d TN4/727

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