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• 200 1_ |a 半导体制造过程的批间控制和性能监控 |A ban dao ti zhi zao guo cheng de pi jian kong zhi he xing neng jian kong |f 郑英，王妍，凌丹著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 243页 |d 24cm

• 330 __ |a 本书共十一章，基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A Ban Dao Ti Gong Yi

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 郑英 |A zheng ying |4 著

• 701 _0 |a 王妍 |A wang yan |4 著

• 701 _0 |a 凌丹 |A ling dan |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20240308

• 905 __ |a HDUL |d TN305/840

• 920 __ |a 233030 |z 1