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• 200 1_ |a 硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型 |f （美）普卢默(Plummer,J.D.)等著 |g |A GCDGMJCD |F PLM

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• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003.4

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