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• 200 1_ |a MEMS法珀腔光学声传感器 |A MEMS fa po qiang guang xue sheng chuan gan qi |f 郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2023

• 215 __ |a 211页 |c 图 |d 23cm

• 225 1_ |a 工业信息化技术丛书 |A Gong Ye Xin Xi Hua Ji Shu Cong Shu

• 330 __ |a MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

• 606 0_ |a 光纤传感器 |A Guang Xian Chuan Gan Qi

• 690 __ |a TP212.4 |v 5

• 701 _0 |a 郑永秋 |A zheng yong qiu |4 著

• 701 _0 |a 陈佳敏 |A chen jia min |4 著

• 701 _0 |a 武丽云 |A wu li yun |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20240311

• 905 __ |a HDUL |d TP212.4/832

• 920 __ |a 233030 |z 1