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- 000 01346nam0 2200349 450
- 010 __ |a 978-7-5026-2557-3 |d CNY78.00
- 100 __ |a 20071023d2007 em y0chiy0120 ea
- 200 1_ |a 微传感器 MEMS与智能器件 |A wei chuan gan qi MEMS yu zhi neng qi jian |d Microsensors MEMS and smart devices |f (英)朱利安 W. 加德纳,(美)维贾伊 K. 瓦拉丹,(美)奥萨马 O. 阿瓦德卡里姆著 |g 范茂军[等]译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 中国计量出版社 |d 2007
- 215 __ |a 477页 |c 图表 |d 25cm
- 304 __ |a 其它译者还有:鲁德双、刘光辉、亢春梅等。
- 330 __ |a 本书内容包括:电子材料与加工技术;微电子机械系统用材料及其制备;标准微电子工艺;硅微机械加工:体加工技术;硅微机械加工:表面加工技术等。
- 510 1_ |a Microsensors MEMS and smart devices |z eng
- 701 _0 |c (英) |a 加德纳 |A jia de na |c (Gardner, Julian W.) |4 著
- 701 _0 |c (美) |a 瓦拉丹 |A wa la dan |c (Varadan, Vijay K.) |4 著
- 701 _0 |c (美) |a 阿瓦卡德卡里姆 |A a wa ka de ka li mu |c (Awadelkarim, Osama O.) |4 著
- 702 _0 |a 范茂军 |A fan mao jun |4 译
- 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20080306
- 905 __ |a HDUL |d TP212/422/2