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• 010 __ |a 978-7-5175-0624-9 |d CNY78.00

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• 200 1_ |a 集成电路制造设备零部件归类指南 |A ji cheng dian lu zhi zao she bei ling bu jian gui lei zhi nan |f 温朝柱, 史芳婷, 蒋耘弈编著

• 210 __ |a 北京 |c 中国海关出版社有限公司 |d 2023

• 215 __ |a 290页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目 (第283-284页)

• 330 __ |a 本书共分为6章。第1章简要介绍了集成电路的制造工艺和集成电路制造设备零部件的归类方法 ; 第2章介绍了集成电路制造设备的组成结构及其零部件的归类 ; 第3章主要介绍了洁净室 (厂房) 及其配套系统所用的设备、零部件的组成结构及其归类 ; 第4章介绍了与集成电路制造设备相关的设备、部件及仪表的组成结构及其归类 ; 第5章介绍了集成电路制造所用材料的种类及其归类 ; 第6章介绍了部分典型零部件的归类, 并对其归类依据进行了详细的分析。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A ji cheng dian lu gong yi |x 零部件 |x 分类 |j 指南

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 温朝柱 |A wen chao zhu |4 编著

• 701 _0 |a 史芳婷 |A shi fang ting |4 编著

• 701 _0 |a 蒋耘弈 |A jiang yun yi |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20230913

• 905 __ |a HDUL |d TN405/344

• 920 __ |a 233030 |z 1