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• 010 __ |a 978-7-122-42346-7 |b 精装 |d CNY128.00

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• 200 1_ |a 新型微纳传感器技术 |A xin xing wei na chuan gan qi ji shu |d = Micro and nano sensor technology |f 赵玉龙, 蒋庄德著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 244页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材 |A xi an jiao tong da xue yan jiu sheng “ shi si wu ” gui hua jing pin xi lie jiao cai

• 306 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构, 阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。

• 410 _0 |1 2001 |a 西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材

• 510 1_ |a Micro and nano sensor technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 赵玉龙 |A zhao yu long |4 著

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |4 著

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20230505

• 905 __ |a HDUL |d TP212/4144

• 920 __ |a 233030 |z 1