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• 200 1_ |a 中国学科发展战略 |A zhong guo xue ke fa zhan zhan lue |i 微纳机电系统与微纳传感器技术 |f 国家自然科学基金委员会, 中国科学院

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2020

• 215 __ |a xxxvi, 237页, [8] 页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 国家科学思想库 |A guo jia ke xue si xiang ku |i 学术引领系列

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述，全面总结了技术的发展现状，客观分析了技术的发展态势，从学科的发展规律和研究特点出发，前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向，提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。

• 410 _0 |1 2001 |a 国家科学思想库 |i 学术引领系列

• 517 1_ |a 微纳机电系统与微纳传感器技术 |A wei na ji dian xi tong yu wei na chuan gan qi ji shu

• 606 0_ |a 学科学 |A xue ke xue |x 发展战略 |y 中国

• 606 0_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |x 研究

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 传感器 |x 研究

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 711 02 |a 国家自然科学基金委员会 |A guo jia zi ran ke xue ji jin wei yuan hui |4 编

• 711 02 |a 中国科学院 |A zhong guo ke xue yuan |4 编

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20201013

• 905 __ |a HDUL |d TH-39/632

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