机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 微电子材料与制程 |A wei dian zi cai liao yu zhi cheng |d = Microelectronics materials and processing |f 陈力俊主编 |F chen li jun zhu bian |z eng
- 210 __ |a 上海 |c 复旦大学出版社 |d 2005.3
- 215 __ |a 613页 |c 图 |d 22cm
- 330 __ |a 本书介绍了半导体基本原理、集成电路制作中的重要问题等。
- 510 __ |a Microelectronics materials and processing |z eng
- 701 _0 |a 陈力俊 |A chen li jun |4 主编
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