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• 010 __ |a 978-7-121-13428-9 |d CNY83.00

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• 200 1_ |a Fabrication engineering at the micro-and nanoscale |d = 微纳尺度制造工程 |f (美) 斯蒂芬 A·坎贝尔著 |g 严利人, 张伟等译 |z chi

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2011

• 215 __ |a 640页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a 原书第3版

• 306 __ |a 由Oxford University Press, Inc., U.S.A.授权

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发等。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a 微纳尺度制造工程 |z chi

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |j 教材 |x 英文

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _1 |a 坎贝尔 |A kan bei er |b 斯蒂芬 A. |4 著

• 702 _0 |a 严利人 |A yan li ren |4 译

• 702 _0 |a 张伟 |A zhang wei |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20111223

• 905 __ |a HDUL |d TN4/472

• 920 __ |a 233030 |z 1