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• 200 1_ |a 微电子工艺基础 |A wei dian zi gong yi ji chu |f 李薇薇，王胜利，刘玉岭编著 |F Li Wei Wei， Wang Sheng Li， Liu Yu Ling Bian Zhu

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 20071

• 215 __ |a 257页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目(第257页)

• 330 __ |a 本书共分10章，主要内容涉及半导体硅材料的化学性质、清洗技术、IC制备工艺中有关的物理、化学知识等。

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 _0 |a 李薇薇 |A li wei wei |4 编著

• 701 _0 |a 王胜利 |A wang sheng li |4 编著

• 701 _0 |a 刘玉岭 |A liu yu ling |4 编著

• 801 _0 |a CN |b JG |c 20070118

• 905 __ |a HIEL |d TN405/444

• 999 __ |a 31 |b 5 |e 07125