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• 010 __ |a 978-7-111-25665-6 |d CNY60.00

• 100 __ |a 20090225d2009 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体制造与过程控制基础 |A ban dao ti zhi zao yu guo cheng kong zhi ji chu |f (美)Gary S. May, (美)Costas J. Spanos著 |g 李虹, 肖春虹, 马俊婷译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2009

• 215 __ |a 11,377页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际信息工程先进技术译丛

• 312 __ |a 封面英文题名：Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control

• 330 __ |a 本书详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。

• 461 _0 |1 2001 |a 国际信息工程先进技术译丛

• 510 1_ |a Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control |z eng

• 606 0_ |a 半导体工艺

• 690 __ |a TN305 |v 4

• 701 _0 |c (美) |a 梅凯瑞 |A mei kai rui |c (May, Gary S.) |4 著

• 701 _0 |c (美) |a 斯帕农斯 |A si pa nong si |c (Spanos, Costas J.) |4 著

• 702 _0 |a 李虹 |A li hong |4 译

• 702 _0 |a 肖春虹 |A xiao chun hong |4 译

• 702 _0 |a 马俊婷 |A ma jun ting |4 译

• 801 _0 |a CN |b HDUL |c 20090525

• 905 __ |a HDUL |d TN305/400.2

• 920 __ |a 233030 |z 1